我国科学院微电子研究所预算1398万置办双离子源低应力高精密薄膜堆积体系。
项目名称：多层膜厚测试仪，项目编号：0664-2340SUMECF50，投标规模：多层膜厚测试仪，投标组织：苏美达世界技能交易有限公司，投标人：中电化合物半导体有限公司
项目名称：自动化光学检测设备（AOI），项目编号：0664-2340SUMECA88/01，投标规模：自动化光学检测设备（AOI），投标组织：苏美达世界技能交易有限公司，投标人：广东中科半导体微纳制作技能研究院
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